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技術文章
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半導體器件的性能和穩定性很大程度上受表面的微觀狀態影響，在切割、研磨、拋光以及各種化學試劑處理等工序下，器件表面的結構會產生很大變化，所以幾乎每一個半導體工藝之后都需要專用的檢測設備觀察或測量半導體器件的微觀形貌。半導體工藝中對掃描電子顯微鏡的需求主要有兩大方向：一是發揮其放大功能，對IC器件的正面結構進行實時檢測；二是利用其剖面分析功能，并與樣品制備技術有機結合，系統地分析IC工藝及器件的剖面復合結構，為生產及研發提供其他測試分析儀器所無法提供的直接測量。掃描電子顯微鏡（S...
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我國著名科學家王大珩院士曾指出“儀器是認識世界的工具！”電子顯微鏡作為一種常規的認識亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具，在合金金相分析的過程中發揮了重要作用。本文著重從金相的定義、金相的類型、金相分析的應用、掃描電鏡在合金金相分析中的應用、金相分析應用實例等方面進行闡述。什么是金相？“金”指金屬和合金，“相”指合金中具有同一晶體結構、同一性質、均勻化學成分并以一定界面相互隔開的組成部分。那么金相體現了金屬和合金內部結構、性質、成分、分布。目前使用廣泛的是由鐵和碳組成的合金，...
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人的眼睛大約有六百萬個視錐細胞，能觀察5.76億像素，分辨率可達0.2mm，在眼球轉動時我們可以看到更加廣闊的世界。那么肉眼看不見的微觀世界是什么樣呢？其實更加紛繁復雜，我們可以借助掃描電子顯微鏡進行深入的學習和研究。民以食為天，隨著經濟的發展，消費者的健康意識升級，健康、美味、營養的米和糖受到大眾的喜愛，不過日常食用的米和糖您真的了解嗎？中科科儀應用實驗室做了一組實驗，讓我們來一探虛實。大米&小米我們日常食用的五谷雜糧通常分為細糧和粗糧。細糧得代表就是大米，又稱粳米或精米。...
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掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像，在鋰電正極材料——磷酸鐵鋰制備的過程中發揮著重要的作用。本文主要從磷酸鐵鋰的簡介、掃描電鏡在磷酸鐵鋰制備過程中的應用、磷酸鐵鋰的掃描電鏡觀測圖三方面進行闡述。近年來，面對能源危機、氣候危機，新能源的發展顯得極為迫切。鋰離子電池作為一種二次電池，因具有較高的比能量密度，被廣泛用于移動、動力交通和能量儲存設備。鋰離子電池由正極片、正極集流體、負極片、負極集流體、隔膜、PTC...
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隨著太陽能電池研發制備技術的升級，全固態鈣鈦礦太陽能電池（perovskitesolarcells，簡稱PSCs）因成本低、光電轉換效率高，成為光伏領域的研究熱點。相比于前幾代光電轉換材料，鈣鈦礦材料兼具了高效率和低成本制備的優勢，未來發展潛能巨大。掃描電鏡作為一種運用廣泛的微區分析產品，常用于查看各種固態物質表面的微結構和組成成分，尤其對于觀察鈣鈦礦薄膜覆蓋率和表面平整度、晶體質量等有巨大的幫助，也是測量薄膜厚度最直接的方式之一。本文從鈣鈦礦的基本概念及工作原理、KYKY場...
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鐵電陶瓷是具有鐵電性的陶瓷材料，是陶瓷材料中的重要分支之一。鐵電性的具體表現為電偶極子相互作用產生自發平行排列的現象，與鐵磁性類似。在低于某溫度時由熱能所造成的偶極子混亂排列被局部電場克服，從而產生自發極化，這時所有電偶極子都排成平行陣列。鐵電陶瓷在低于居里溫度時電偶極子能夠自發極化使材料表現出很高的介電常數，并且自發極化方向能隨外場方向改變。介電常數越大，束縛電荷或者說存儲電荷的能力越強，材料的絕緣性越好。常見的鐵電體有鈦酸鋇、鈦酸鉛、磷酸二氫鉀、Rochelle鹽等。鐵電...
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